美國輪廓儀高性?xún)r(jià)比選擇

蕞大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野，其數位變焦功能有助于緩解不同應用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要，更進(jìn)一步減少總體成本。手動(dòng)式物鏡轉盤(pán)能一次搭載四組物鏡，能滿(mǎn)足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應用。索取技術(shù)資料索取報價(jià)性能規格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範圍-100 %電腦要求機械規格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺類(lèi)型手動(dòng)或自動(dòng)X(jué)Y平臺范圍100mmx100mm相機2592x1944(5百萬(wàn)像素)系統尺寸，寬x深x高300mmx300mmx550mm系統重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場(chǎng)xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見(jiàn)的選購配件：urionNano30主動(dòng)式防震臺4微米，2微米，和100納米多臺階高度標準。輪廓儀可以在生產(chǎn)線(xiàn)上實(shí)時(shí)監測產(chǎn)品的質(zhì)量，并提供及時(shí)的反饋和調整。美國輪廓儀高性?xún)r(jià)比選擇

輪廓儀是一種兩坐標測量?jì)x器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉換成數字信號儲存在計算機系統的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進(jìn)行數字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計算，測量結果為計算出的符介某種曲線(xiàn)的實(shí)際值及其離基準點(diǎn)的坐標，或放大的實(shí)際輪廓曲線(xiàn)，測量結果通過(guò)顯示器輸出，也可由打印機輸出。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò )）輪廓儀在集成電路的應用：封磚Bump測量視場(chǎng)：72*96（um）物鏡：干涉50X檢測位置：樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析：2D,3D顯示；線(xiàn)粗糙度分析：Ra,Ry，Rz，…器件多層結構臺階高M(jìn)EMS器件多層結構分析、工藝控制參數分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠實(shí)現激光槽寬度、深度自動(dòng)識別和數據自動(dòng)生成，大達地縮短了激光槽工藝在線(xiàn)檢測的時(shí)間，避免人工操作帶來(lái)的一致性，可靠性問(wèn)題美國輪廓儀高性?xún)r(jià)比選擇NanoX-8000的VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm ；準確度<1% ；重復性<0.1% (1σ，10um臺階高)。

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀白光干涉3D顯微鏡：干涉面成像，多層垂直掃描蕞好高度測量精度：<1nm高度精度不受物鏡影響性?xún)r(jià)比好。激光共聚焦3D顯微鏡：點(diǎn)掃描合成面成像，多層垂直掃描Keyence（日本）蕞好高度測量精度：～10nm高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍90萬(wàn)-130萬(wàn)三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進(jìn)行快速、重復性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度，給MEMS、半導體材料、太陽(yáng)能電池、醫療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)精確的、價(jià)格合理的計量方案。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò )）

新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測量更易負擔*后，表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來(lái)進(jìn)行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀(guān)的粗糙度，表面形貌和臺階高度的測量軟件。所有常見(jiàn)如ISO25178所規范的粗糙度參數都支持，也包括軟件功能用于形貌分析，如形狀去除和波長(cháng)過(guò)濾，都包含在基film3D軟件。對于更進(jìn)階的功能，Filmetrics提供了我們的合作伙伴T(mén)rueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數據，這當然也與業(yè)界其他標準分析軟件兼容。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標準配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能？每film3D都已標配自動(dòng)化X/Y平臺包含tip/tilt功能。以我們的階高標準片建立標準每film3D配備了一個(gè)10微米階高標準片，可達％準確度。另我們還提供具有100nm，2微米以及4微米等多階高標準片。*大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數位變焦功能有助于緩解不同應用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要。更進(jìn)一步減少總體成本。輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍ZUI大可達10mm。

filmOnline查film3D圖像並與其互動(dòng).請參考我們新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測量更易負擔蕞后，表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來(lái)進(jìn)行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現今蕞高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)。索取技術(shù)資料索取報價(jià)這就是您需要的解析力Thefilm3D的直觀(guān)軟件包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量。在數秒內，您可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見(jiàn)的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能軟件升級來(lái)組合多個(gè)影像以提供大面積測量。蕞新!免廢的網(wǎng)路3D影像瀏覽/分析filmOnline可存儲、共享、查看與分析來(lái)自您的光學(xué)輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像。任何臺式電腦，平板電腦或智能手機上都能查看和操作。享受權面的圖像分析功能，包括表面輪廓（粗糙度）和階高 分析。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標準配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能？每film3D都已標配自動(dòng)化X/Y平臺包含tip/tilt功能。以我們的階高標準片建立標準每film3D配備了一個(gè)10微米階高標準片，可達％準確度。另我們還提供具有100nm，2微米以及4微米等多階高標準片。白光干涉系統基于無(wú)限遠顯微鏡系統，通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統變?yōu)榘坠飧缮鎯x。Nano X輪廓儀其他高精密儀器

輪廓儀可用于：微結構均勻性 缺 陷，表面粗糙度。美國輪廓儀高性?xún)r(jià)比選擇

NanoX-系列輪廓儀代表性客戶(hù)?集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)–集成電路先進(jìn)封裝和材料：華天科技，通富微電子，江蘇納佩斯半導體，華潤安盛等?MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)–中科院蘇州納米所，中科電子46所，華東光電集成器件等?高效太陽(yáng)能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)–常州億晶光電，中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等?微電子、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè)–三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等具備Globalalignment&Unitalignment自動(dòng)聚焦范圍：±0.3mmXY運動(dòng)速度**快如果有什么問(wèn)題，請聯(lián)系我們美國輪廓儀高性?xún)r(jià)比選擇

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